Automatische Justierverfahren zur Belichtung von Mikrostrukturen /

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Detalhes bibliográficos
OCLC:51995895
Autor principal: Sotta, Herbert
Autor Corporativo: Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
Idioma:German
Publicado em: Germany : Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 1975.
Global Resources Program:Southeast Asia Materials Project (SEAM)
Formato:

Tese Monograph

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Descrição Local Call Number Estado
P-00110869 Disponível