Automatische Justierverfahren zur Belichtung von Mikrostrukturen /

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書目詳細資料
OCLC:51995895
主要作者: Sotta, Herbert
企業作者: Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
語言:German
出版: Germany : Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 1975.
Global Resources Program:Southeast Asia Materials Project (SEAM)
格式:

Thesis Monograph

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實物特徵 Local Call Number 狀態
P-00110869 可用