Automatische Justierverfahren zur Belichtung von Mikrostrukturen /

Αποθηκεύτηκε σε:
Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
OCLC:51995895
Κύριος συγγραφέας: Sotta, Herbert
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
Γλώσσα:German
Έκδοση: Germany : Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 1975.
Global Resources Program:Southeast Asia Materials Project (SEAM)
Μορφή:

Thesis Monograph

Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows.