Abscheidung von Yttriumoxid-, Lanthanoxid- und Seltenerdoxidfilmen im HF-Plasma /
Сохранить в:
OCLC: | 46032338 |
---|---|
Главный автор: | |
Соавтор: | |
Язык: | German |
Опубликовано: |
Germany :
Universität Tübingen,
1990.
|
Формат: | Thesis Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |