Abscheidung von Yttriumoxid-, Lanthanoxid- und Seltenerdoxidfilmen im HF-Plasma /

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OCLC:46032338
主要作者: Weber, Andreas
企業作者: Universität Tübingen
語言:German
出版: Germany : Universität Tübingen, 1990.
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Thesis Monograph

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