Abscheidung von Yttriumoxid-, Lanthanoxid- und Seltenerdoxidfilmen im HF-Plasma /
שמור ב:
OCLC: | 46032338 |
---|---|
מחבר ראשי: | |
מחבר תאגידי: | |
שפה: | German |
יצא לאור: |
Germany :
Universität Tübingen,
1990.
|
פורמט: | Thesis Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |
תאור פריט: | Tübingen, Univ., Fak. f. Chemie u. Pharmazie, Diss. 1990. |
---|---|
תיאור פיזי: | 132 S. m. 57 Abb. |
Place of Publication: | Germany. |