Abscheidung von Yttriumoxid-, Lanthanoxid- und Seltenerdoxidfilmen im HF-Plasma /
Saved in:
| OCLC: | 46032338 |
|---|---|
| Hovedforfatter: | |
| Institution som forfatter: | |
| Sprog: | German |
| Udgivet: |
Germany :
Universität Tübingen,
1990.
|
| Format: | Thesis Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |
| Emne beskrivelse: | Tübingen, Univ., Fak. f. Chemie u. Pharmazie, Diss. 1990. |
|---|---|
| Fysisk beskrivelse: | 132 S. m. 57 Abb. |
| Place of Publication: | Germany. |