Modeling, simulation and experimental studies of plasma processing /
Сохранить в:
| OCLC: | 41136677 |
|---|---|
| Главный автор: | |
| Соавтор: | |
| Язык: | English |
| Опубликовано: |
Uppsala :
Acta Universitatis Upsaliensis,
1997.
|
| Серии: | Acta Universitatis Upsaliensis. Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the faculty of science and technology,
258. |
| Предметы: | |
| Формат: | Thesis Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |
| Объем: | 48 p. : ill. ; 25 cm. |
|---|---|
| Библиография: | Includes bibliographical references (p. 48) |
| ISBN: | 9155439225 |
| ISSN: | 1104-232X ; |
| Поместить публикацию: | Sweden. |