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Sotta, H. (1975). Automatische Justierverfahren zur Belichtung von Mikrostrukturen. Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen.

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Sotta, Herbert. Automatische Justierverfahren Zur Belichtung Von Mikrostrukturen. Germany: Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 1975.

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Sotta, Herbert. Automatische Justierverfahren Zur Belichtung Von Mikrostrukturen. Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 1975.