Abscheidung von Yttriumoxid-, Lanthanoxid- und Seltenerdoxidfilmen im HF-Plasma /
Salvato in:
| OCLC: | 46032338 |
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| Autore principale: | |
| Ente Autore: | |
| Lingua: | German |
| Pubblicazione: |
Germany :
Universität Tübingen,
1990.
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