Abscheidung von Yttriumoxid-, Lanthanoxid- und Seltenerdoxidfilmen im HF-Plasma /
Spremljeno u:
| OCLC: | 46032338 |
|---|---|
| Glavni autor: | |
| Autor kompanije: | |
| Jezik: | German |
| Izdano: |
Germany :
Universität Tübingen,
1990.
|
| Format: | Disertacija Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |