Abscheidung von Yttriumoxid-, Lanthanoxid- und Seltenerdoxidfilmen im HF-Plasma /
שמור ב:
| OCLC: | 46032338 |
|---|---|
| מחבר ראשי: | |
| מחבר תאגידי: | |
| שפה: | German |
| יצא לאור: |
Germany :
Universität Tübingen,
1990.
|
| פורמט: | Thesis Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |