Abscheidung von Yttriumoxid-, Lanthanoxid- und Seltenerdoxidfilmen im HF-Plasma /
Guardado en:
| OCLC: | 46032338 |
|---|---|
| Autor principal: | |
| Autor Corporativo: | |
| Lenguaje: | German |
| Publicado: |
Germany :
Universität Tübingen,
1990.
|
| Formato: | Tesis Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |