Abscheidung von Yttriumoxid-, Lanthanoxid- und Seltenerdoxidfilmen im HF-Plasma /
Uloženo v:
| OCLC: | 46032338 |
|---|---|
| Hlavní autor: | |
| Korporativní autor: | |
| Jazyk: | German |
| Vydáno: |
Germany :
Universität Tübingen,
1990.
|
| Médium: | Diplomová práce Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |