Abscheidung von Yttriumoxid-, Lanthanoxid- und Seltenerdoxidfilmen im HF-Plasma /
محفوظ في:
| OCLC: | 46032338 |
|---|---|
| المؤلف الرئيسي: | |
| مؤلف مشترك: | |
| اللغة: | German |
| منشور في: |
Germany :
Universität Tübingen,
1990.
|
| التنسيق: | أطروحة Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |