Abscheidung von Yttriumoxid-, Lanthanoxid- und Seltenerdoxidfilmen im HF-Plasma /
Sparad:
| OCLC: | 46032338 |
|---|---|
| Huvudupphovsman: | |
| Institutionell upphovsman: | |
| Språk: | German |
| Publicerad: |
Germany :
Universität Tübingen,
1990.
|
| Materialtyp: | Lärdomsprov Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |
| Beskrivning: | Tübingen, Univ., Fak. f. Chemie u. Pharmazie, Diss. 1990. |
|---|---|
| Fysisk beskrivning: | 132 S. m. 57 Abb. |
| Utgivningsort: | Germany. |