Abscheidung von Yttriumoxid-, Lanthanoxid- und Seltenerdoxidfilmen im HF-Plasma /
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| OCLC: | 46032338 |
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| Autor principal: | |
| Autor Corporativo: | |
| Idioma: | German |
| Publicado em: |
Germany :
Universität Tübingen,
1990.
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| Formato: | Tese Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |
| Descrição do item: | Tübingen, Univ., Fak. f. Chemie u. Pharmazie, Diss. 1990. |
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| Descrição Física: | 132 S. m. 57 Abb. |
| Local de Publicação: | Germany. |