Abscheidung von Yttriumoxid-, Lanthanoxid- und Seltenerdoxidfilmen im HF-Plasma /
Guardado en:
OCLC: | 46032338 |
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Autor principal: | |
Autor Corporativo: | |
Lenguaje: | German |
Publicado: |
Germany :
Universität Tübingen,
1990.
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Formato: | Tesis Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |
Notas: | Tübingen, Univ., Fak. f. Chemie u. Pharmazie, Diss. 1990. |
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Descripción Física: | 132 S. m. 57 Abb. |
Lugar de publicación: | Germany. |