Abscheidung von Yttriumoxid-, Lanthanoxid- und Seltenerdoxidfilmen im HF-Plasma /
Gespeichert in:
| OCLC: | 46032338 |
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| 1. Verfasser: | |
| Körperschaft: | |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Germany :
Universität Tübingen,
1990.
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| Format: | Abschlussarbeit Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |
| Beschreibung: | Tübingen, Univ., Fak. f. Chemie u. Pharmazie, Diss. 1990. |
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| Beschreibung: | 132 S. m. 57 Abb. |
| Erscheinungsort: | Germany. |