Abscheidung von Yttriumoxid-, Lanthanoxid- und Seltenerdoxidfilmen im HF-Plasma /
Guardat en:
| OCLC: | 46032338 |
|---|---|
| Autor principal: | |
| Autor corporatiu: | |
| Idioma: | German |
| Publicat: |
Germany :
Universität Tübingen,
1990.
|
| Format: | Thesis Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |
| Descripció de l’ítem: | Tübingen, Univ., Fak. f. Chemie u. Pharmazie, Diss. 1990. |
|---|---|
| Descripció física: | 132 S. m. 57 Abb. |
| Lloc de publicació: | Germany. |