Plasma assisted processes for microelectronic applications /
שמור ב:
| OCLC: | 19470321 |
|---|---|
| מחבר ראשי: | |
| מחבר תאגידי: | |
| שפה: | English |
| יצא לאור: |
Uppsala :
Uppsala Universitet,
1988.
|
| סדרה: | Acta Universitatis Upsaliensis. Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the Faculty of Science,
137. |
| נושאים: | |
| פורמט: | Thesis Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |