Experimentelle Untersuchungen der Synchrotronstrahlung zur hochauflösenden Lithographie für die Grösstintegration /

Tallennettuna:
Bibliografiset tiedot
OCLC:17111452
Päätekijä: Betz, Hans, 1946-
Yhteisötekijä: Technische Universität München
Kieli:German
Julkaistu: 1981.
Aineistotyyppi:

Opinnäyte Monograph Microform

Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows.