On electron beam lithography for LSI circuit fabrication /

Tallennettuna:
Bibliografiset tiedot
OCLC:7157665
Päätekijä: Åstrand, Börje
Yhteisötekijä: Kungl. Tekniska högskolan
Kieli:English
Julkaistu: Stockholm : Royal Institute of Technology, Dept. of Applied Electronics, 1979.
Aiheet:
Lithography, Electron beam.
Integrated circuits > Large scale integration.
Aineistotyyppi:

Opinnäyte Monograph

Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows.

Borrow this resource

Item List

Kuvaus Local Call Number Tila
P-60002365 Saatavissa

Samankaltaisia teoksia