1. 1
   Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung

   by Mohr, Jürgen
   Published 1987

   Karlsruhe [Germany] : Kernforschungszentrum Karlsruhe, 1987.

   96 p.

   “...KfK (Series) ;...”
   

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2. 2
   Untersuchungen zur Herstellung von Mikrostrukturen grosser Strukturhöhe durch Galvanoformung in Nickelsulfamatelektrolyten

   by Harsch, S.
   Published 1988

   Karlsruhe [Germany] : Kernforschungszentrum Karlsruhe, 1988.

   91 p.

   “...KfK (Series) ;...”
   

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