1. 1
   Untersuchung zur Abformung von galvanisierbaren Mikrostrukturen mit grosser Strukturhöhe aus elektrisch isolierenden und leitfähigen Kunststoffen

   by Harmening, M.
   Published 1990

   Karlsruhe : Kernforschungszentrum Karlsruhe, [1990]

   112 p.

   “...KfK (Series) ;...”
   

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2. 2
   Grundlagen für die röntgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlängen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter

   by Anderer, Boris
   Published 1990

   Karlsruhe : KfK, 1990.

   95 S : graph. Darst.

   “...KfK (Series) ;...”
   

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3. 3
   Systemtechnische Analyse und Entwicklung eines Mikroventils in LIGA-Technik

   by Kowanz, B.
   Published 1991

   Karlsruhe [Germany] : Kernforschungszentrum Karlsruhe, 1991.

   90 p.

   “...KfK (Series) ;...”
   

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4. 4
   Untersuchungen zur Herstellung von Mikrostrukturen grosser Strukturhöhe durch Galvanoformung in Nickelsulfamatelektrolyten

   by Harsch, S.
   Published 1988

   Karlsruhe [Germany] : Kernforschungszentrum Karlsruhe, 1988.

   91 p.

   “...KfK (Series) ;...”
   

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