Design, Herstellung und Charakterisierung eines mikromechanischen Gyrometers auf der Basis der LIGA-Technik /
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| OCLC: | 45426383 |
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| Main Author: | |
| Corporate Authors: | , |
| Other Authors: | , |
| Language: | German |
| Published: |
Karlsruhe :
Forschungszentrum Karlsruhe,
1999.
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| Series: | Wissenschaftliche Berichte (Forschungszentrum Karlsruhe) ;
FZKA 6361. |
| Format: | Thesis Conference Proceeding Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |