Hochauflosende Rontgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit groem Aspektverhaltnis /
Gespeichert in:
OCLC: | 68263568 |
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1. Verfasser: | |
Körperschaften: | , , |
Weitere Verfasser: | , |
Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Karlsruhe, [Germany] :
Forschungszentrum Karlsruhe,
2006.
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Schriftenreihe: | Wissenschaftliche Berichte (Forschungszentrum Karlsruhe) ;
FZKA 7215. |
Format: | Abschlussarbeit Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |