Optimierung der Prozessbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Rontgenlithographie (UDXRL) /
Saved in:
| OCLC: | 47191434 |
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| Main Author: | |
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | , |
| Language: | German |
| Published: |
Karlsruhe :
Forschungszentrum Karlsruhe,
2000.
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| Series: | Wissenschaftliche Berichte (Forschungszentrum Karlsruhe) ;
FZKA 6576. |
| Subjects: | |
| Format: | Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |