Design, Herstellung und Charakterisierung eines mikromechanischen Gyrometers auf der Basis der LIGA-Technik /

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OCLC:45426383
Main Author: Schumacher, K.
Corporate Authors: Forschungszentrum Karlsruhe, Universität Karlsruhe
Other Authors: Wallrabe, U., Mohr, J.
Language:German
Published: Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe, 1999.
Series:Wissenschaftliche Berichte (Forschungszentrum Karlsruhe) ; FZKA 6361.
Format:

Thesis Conference Proceeding Monograph

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