Hochauflosende Rontgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit groem Aspektverhaltnis /
Αποθηκεύτηκε σε:
| OCLC: | 68263568 |
|---|---|
| Κύριος συγγραφέας: | |
| Συλλογικό Έργο: | , , |
| Άλλοι συγγραφείς: | , |
| Γλώσσα: | German |
| Έκδοση: |
Karlsruhe, [Germany] :
Forschungszentrum Karlsruhe,
2006.
|
| Σειρά: | Wissenschaftliche Berichte (Forschungszentrum Karlsruhe) ;
FZKA 7215. |
| Μορφή: | Thesis Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |