Hochauflosende Rontgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit groem Aspektverhaltnis /
Wedi'i Gadw mewn:
| OCLC: | 68263568 |
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| Prif Awdur: | |
| Awduron Corfforaethol: | , , |
| Awduron Eraill: | , |
| Iaith: | German |
| Cyhoeddwyd: |
Karlsruhe, [Germany] :
Forschungszentrum Karlsruhe,
2006.
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| Cyfres: | Wissenschaftliche Berichte (Forschungszentrum Karlsruhe) ;
FZKA 7215. |
| Fformat: | Traethawd Ymchwil Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |