Entwicklung eines LIGA-Mikrosystems zur Messung mechanischer Eigenschaften von Mikroproben /
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| OCLC: | 45621358 |
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| 主要作者: | |
| Corporate Authors: | , |
| 其他作者: | , |
| 语言: | German |
| 出版: |
Karlsruhe :
Forschungszentrum Karlsruhe,
1997.
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| 丛编: | Wissenschaftliche Berichte (Forschungszentrum Karlsruhe. Technik und Umwelt) ;
FZKA 5986. |
| 格式: | Thesis Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |
| 实物描述: | 91 p. : ill. |
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| ISSN: | 0947-8620 ; |
| Place of Publication: | Germany. |