Ein oberflächenmikromechanischer Ein-Chip-Dreiachsen-Beschleunigungssensor aus Polysilizium /

שמור ב:
מידע ביבליוגרפי
OCLC:75979888
מחבר ראשי: Wenk, Beatrice
מחבר תאגידי: Technische Universität Berlin
שפה:German
יצא לאור: [S.l. : s.n.], 1998.
מהדורה:[Mikrofiche-Ausg.]
נושאים:
Beschleunigungssensor > Silicium > Polykristall > Oberflächenmontage > Halbleitertechnologie > Mikroform.
פורמט:

Thesis Monograph Microform

Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows.

Borrow this resource

Item List

תיאור Local Call Number סטטוס
P-90071492 זמין

פריטים דומים