Ein oberflächenmikromechanischer Ein-Chip-Dreiachsen-Beschleunigungssensor aus Polysilizium /
Sábháilte in:
OCLC: | 75979888 |
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Príomhchruthaitheoir: | |
Údar corparáideach: | |
Teanga: | German |
Foilsithe / Cruthaithe: |
[S.l. :
s.n.],
1998.
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Eagrán: | [Mikrofiche-Ausg.] |
Ábhair: | |
Formáid: | Tráchtas Monograph Microform Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |