Ein oberflächenmikromechanischer Ein-Chip-Dreiachsen-Beschleunigungssensor aus Polysilizium /
Wedi'i Gadw mewn:
| OCLC: | 75979888 |
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| Prif Awdur: | |
| Awdur Corfforaethol: | |
| Iaith: | German |
| Cyhoeddwyd: |
[S.l. :
s.n.],
1998.
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| Rhifyn: | [Mikrofiche-Ausg.] |
| Pynciau: | |
| Fformat: | Traethawd Ymchwil Monograph Microform Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |