Ein oberflächenmikromechanischer Ein-Chip-Dreiachsen-Beschleunigungssensor aus Polysilizium /
محفوظ في:
| OCLC: | 75979888 |
|---|---|
| المؤلف الرئيسي: | |
| مؤلف مشترك: | |
| اللغة: | German |
| منشور في: |
[S.l. :
s.n.],
1998.
|
| الطبعة: | [Mikrofiche-Ausg.] |
| الموضوعات: | |
| التنسيق: | أطروحة Monograph Microform Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |