Plasma assisted processes for microelectronic applications /
Tallennettuna:
| OCLC: | 19470321 |
|---|---|
| Päätekijä: | |
| Yhteisötekijä: | |
| Kieli: | English |
| Julkaistu: |
Uppsala :
Uppsala Universitet,
1988.
|
| Sarja: | Acta Universitatis Upsaliensis. Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the Faculty of Science,
137. |
| Aiheet: | |
| Aineistotyyppi: | Opinnäyte Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |