The electrical activity of defects created in silicon single crystals during ion implantation /
Sparad:
OCLC: | 3928247 |
---|---|
Huvudupphovsman: | |
Institutionell upphovsman: | |
Språk: | English |
Publicerad: |
Göteborg,
1973.
|
Serie: | Doktorsavhandlingar vid Chalmers tekniska högskola.
|
Ämnen: | |
Materialtyp: | Lärdomsprov Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |