Optimierung der Prozessbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Rontgenlithographie (UDXRL) /
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| OCLC: | 47191434 |
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| 主要作者: | |
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| 其他作者: | , |
| 语言: | German |
| 出版: |
Karlsruhe :
Forschungszentrum Karlsruhe,
2000.
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| 丛编: | Wissenschaftliche Berichte (Forschungszentrum Karlsruhe) ;
FZKA 6576. |
| 主题: | |
| 格式: | Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |