Optimierung der Prozessbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Rontgenlithographie (UDXRL) /
محفوظ في:
| OCLC: | 47191434 |
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| المؤلف الرئيسي: | |
| مؤلف مشترك: | |
| مؤلفون آخرون: | , |
| اللغة: | German |
| منشور في: |
Karlsruhe :
Forschungszentrum Karlsruhe,
2000.
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| سلاسل: | Wissenschaftliche Berichte (Forschungszentrum Karlsruhe) ;
FZKA 6576. |
| الموضوعات: | |
| التنسيق: | Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |