Optimierung der Prozessbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Rontgenlithographie (UDXRL) /
Uloženo v:
| OCLC: | 47191434 |
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| Hlavní autor: | |
| Korporativní autor: | |
| Další autoři: | , |
| Jazyk: | German |
| Vydáno: |
Karlsruhe :
Forschungszentrum Karlsruhe,
2000.
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| Edice: | Wissenschaftliche Berichte (Forschungszentrum Karlsruhe) ;
FZKA 6576. |
| Témata: | |
| Médium: | Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |