Studies of thin film plasma processes for microelectronic device manufacturing /
Αποθηκεύτηκε σε:
| OCLC: | 28002939 |
|---|---|
| Κύριος συγγραφέας: | |
| Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: | |
| Γλώσσα: | English |
| Έκδοση: |
Uppsala : Stockholm, Sweden :
Uppsala University ; Distributor, Almqvist & Wiksell International,
1992.
|
| Σειρά: | Acta Universitatis Upsaliensis. Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the Faculty of Science,
406. |
| Θέματα: | |
| Μορφή: | Thesis Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |