Barklund, A. M. (1992). Studies of thin film plasma processes for microelectronic device manufacturing. Uppsala University ; Distributor, Almqvist & Wiksell International.
Trích dẫn kiểu Chicago (xuất bản lần thứ 7)Barklund, Anna M. Studies of Thin Film Plasma Processes for Microelectronic Device Manufacturing. Uppsala : Stockholm, Sweden: Uppsala University ; Distributor, Almqvist & Wiksell International, 1992.
Trích dẫn kiểu MLA (xuất bản lần thứ 8)Barklund, Anna M. Studies of Thin Film Plasma Processes for Microelectronic Device Manufacturing. Uppsala University ; Distributor, Almqvist & Wiksell International, 1992.
Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.