Barklund, A. M. (1992). Studies of thin film plasma processes for microelectronic device manufacturing. Uppsala University ; Distributor, Almqvist & Wiksell International.
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)Barklund, Anna M. Studies of Thin Film Plasma Processes for Microelectronic Device Manufacturing. Uppsala : Stockholm, Sweden: Uppsala University ; Distributor, Almqvist & Wiksell International, 1992.
Παραπομπή σε μορφή MLA (8th εκδ.)Barklund, Anna M. Studies of Thin Film Plasma Processes for Microelectronic Device Manufacturing. Uppsala University ; Distributor, Almqvist & Wiksell International, 1992.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.