Kinetik und Mechanismus der Silizium-Abscheidung in einer Niederdruckentladung und Kontrolle der strukturellen und physikalischen Eigenschaften des Deposits /
Đã lưu trong:
| OCLC: | 46160907 |
|---|---|
| Tác giả chính: | |
| Tác giả của công ty: | |
| Ngôn ngữ: | German |
| Được phát hành: |
Switzerland :
Universität Zürich,
1990.
|
| Định dạng: | Luận văn Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |