Kinetik und Mechanismus der Silizium-Abscheidung in einer Niederdruckentladung und Kontrolle der strukturellen und physikalischen Eigenschaften des Deposits /
Sparad:
| OCLC: | 46160907 |
|---|---|
| Huvudupphovsman: | |
| Institutionell upphovsman: | |
| Språk: | German |
| Publicerad: |
Switzerland :
Universität Zürich,
1990.
|
| Materialtyp: | Lärdomsprov Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |