Kinetik und Mechanismus der Silizium-Abscheidung in einer Niederdruckentladung und Kontrolle der strukturellen und physikalischen Eigenschaften des Deposits /
שמור ב:
| OCLC: | 46160907 |
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| מחבר ראשי: | |
| מחבר תאגידי: | |
| שפה: | German |
| יצא לאור: |
Switzerland :
Universität Zürich,
1990.
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| פורמט: | Thesis Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |