Kinetik und Mechanismus der Silizium-Abscheidung in einer Niederdruckentladung und Kontrolle der strukturellen und physikalischen Eigenschaften des Deposits /
Sábháilte in:
| OCLC: | 46160907 |
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| Príomhchruthaitheoir: | |
| Údar corparáideach: | |
| Teanga: | German |
| Foilsithe / Cruthaithe: |
Switzerland :
Universität Zürich,
1990.
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| Formáid: | Tráchtas Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |