Kinetik und Mechanismus der Silizium-Abscheidung in einer Niederdruckentladung und Kontrolle der strukturellen und physikalischen Eigenschaften des Deposits /
Tallennettuna:
| OCLC: | 46160907 |
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| Päätekijä: | |
| Yhteisötekijä: | |
| Kieli: | German |
| Julkaistu: |
Switzerland :
Universität Zürich,
1990.
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| Aineistotyyppi: | Opinnäyte Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |