Kinetik und Mechanismus der Silizium-Abscheidung in einer Niederdruckentladung und Kontrolle der strukturellen und physikalischen Eigenschaften des Deposits /
Guardado en:
| OCLC: | 46160907 |
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| Autor principal: | |
| Autor Corporativo: | |
| Lenguaje: | German |
| Publicado: |
Switzerland :
Universität Zürich,
1990.
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